DRK8090 Photoelectric Profiler

ເຄື່ອງມືນີ້ຮັບຮອງເອົາວິທີການວັດແທກ interferometric ໄລຍະບໍ່ຕິດຕໍ່, optical-shifting, ບໍ່ທໍາລາຍພື້ນຜິວຂອງ workpiece ໃນລະຫວ່າງການວັດແທກ, ຢ່າງວ່ອງໄວສາມາດວັດແທກຮູບພາບສາມມິຕິລະດັບຂອງ micro-topography ພື້ນຜິວຂອງ workpieces ຕ່າງໆ, ແລະວິເຄາະແລະຄິດໄລ່ການວັດແທກ. ຜົນໄດ້ຮັບ.

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ
ຄຸນ​ລັກ​ສະ​ນະ: ເຫມາະ​ສໍາ​ລັບ​ການ​ວັດ​ແທກ roughness ດ້ານ​ຂອງ​ຕັນ​ວັດ​ແທກ​ຕ່າງໆ​ແລະ​ພາກ​ສ່ວນ optical​; ຄວາມເລິກຂອງ reticle ຂອງໄມ້ບັນທັດແລະຫນ້າປັດ; ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບຂອງ grating groove ໂຄງປະກອບການແລະ morphology ໂຄງສ້າງຂອງຂອບເຂດການເຄືອບ; ດ້ານຂອງແຜ່ນແມ່ເຫຼັກ (optical) ແລະຫົວແມ່ເຫຼັກການວັດແທກໂຄງສ້າງ; Silicon wafer roughness ດ້ານແລະການວັດແທກໂຄງສ້າງຮູບແບບ, ແລະອື່ນໆ.
ເນື່ອງຈາກຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກສູງຂອງເຄື່ອງມື, ມັນມີລັກສະນະຂອງການບໍ່ຕິດຕໍ່ແລະການວັດແທກສາມມິຕິ, ແລະຮັບຮອງເອົາການຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີແລະການວິເຄາະຢ່າງໄວວາແລະການຄິດໄລ່ຜົນການວັດແທກ. ເຄື່ອງ​ມື​ນີ້​ແມ່ນ​ເຫມາະ​ສົມ​ສໍາ​ລັບ​ທຸກ​ລະ​ດັບ​ຂອງ​ຫນ່ວຍ​ງານ​ການ​ທົດ​ສອບ​ແລະ​ການ​ວັດ​ແທກ​, ຫ້ອງ​ການ​ວັດ​ທະ​ນະ​ທໍາ​ອຸດ​ສາ​ຫະ​ກໍາ​ແລະ​ການ​ຂຸດ​ຄົ້ນ​ບໍ່​ແຮ່​, ກອງ​ປະ​ຊຸມ​ການ​ປຸງ​ແຕ່ງ​ຄວາມ​ແມ່ນ​ຍໍາ​, ແລະ​ຍັງ​ເຫມາະ​ສົມ​ສໍາ​ລັບ​ສະ​ຖາ​ບັນ​ການ​ສຶກ​ສາ​ຊັ້ນ​ສູງ​ແລະ​ສະ​ຖາ​ບັນ​ຄົ້ນ​ຄວ້າ​ວິ​ທະ​ຍາ​ສາດ​, ແລະ​ອື່ນໆ​.
ຕົວກໍານົດການດ້ານວິຊາການຕົ້ນຕໍ
ການວັດແທກລະດັບຄວາມເລິກຂອງກ້ອງຈຸລະທັດພື້ນຜິວ
ຢູ່ເທິງພື້ນຜິວຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ເມື່ອບໍ່ມີຄວາມສູງປ່ຽນແປງຢ່າງກະທັນຫັນທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ 1/4 ຄວາມຍາວຄື້ນລະຫວ່າງສອງ pixels ທີ່ຢູ່ຕິດກັນ: 1000-1nm
ເມື່ອມີການຫັນປ່ຽນຄວາມສູງຫຼາຍກວ່າ 1/4 ຂອງຄວາມຍາວຄື້ນລະຫວ່າງສອງ pixels ທີ່ຢູ່ຕິດກັນ: 130-1nm
Repeatability ຂອງການວັດແທກ: δRa ≤0.5nm
ການຂະຫຍາຍເລນຈຸດປະສົງ: 40X
ຮູຮັບແສງຕົວເລກ: Φ 65
ໄລຍະຫ່າງເຮັດວຽກ: 0.5mm
ພາກສະຫນາມເຄື່ອງມືຂອງສາຍຕາ Visual: Φ0.25mm
ຮູບ: 0.13×0.13mm
ຂະໜາດເຄື່ອງສະແດງຜົນ: 500×
ການ​ຖ່າຍ​ຮູບ (ສັງ​ເກດ​ຈາກ​ຫນ້າ​ຈໍ​ຄອມ​ພິວ​ເຕີ​) -2500×​
ອາເຣການວັດແທກຕົວຮັບ: 1000X1000
ຂະໜາດ Pixel: 5.2×5.2µm
ເວລາວັດແທກການເກັບຕົວຢ່າງ (ສະແກນ) ເວລາ: 1S
ການສະທ້ອນແສງມາດຕະຖານເຄື່ອງມື (ສູງ): ～50%
ການສະທ້ອນ (ຕໍ່າ): ～4%
ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ: ໂຄມໄຟ incandescent 6V 5W
ຄວາມຍາວຂອງການກັ່ນຕອງການແຊກແຊງສີຂຽວ: λ≒530nm
ຄວາມກວ້າງເຄິ່ງ λ≒10nm
ການຍົກກ້ອງຈຸລະທັດຕົ້ນຕໍ: 110 ມມ
ຍົກຕາຕະລາງ: 5 ມມ
ໄລຍະການເຄື່ອນໄຫວໃນທິດທາງ X ແລະ Y: ～10 ມມ
ໄລຍະການຫມຸນຂອງຕາຕະລາງເຮັດວຽກ: 360 °
ໄລຍະການອຽງຂອງຕາຕະລາງເຮັດວຽກ: ± 6°
ລະບົບຄອມພິວເຕີ: P4, 2.8G ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ, ຈໍແບນ 17 ນິ້ວທີ່ມີຫນ່ວຍຄວາມຈໍາ 1G ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ